カスタム&システム
イオンプレーティング装置用直流電源
仕様
機能/シリーズ名 図面リンク
詳細 直流電源型 /
製品説明
本機はイオンプレーティング装置(真空蒸着やスパッタリングと並び薄膜形成技術の中の物理蒸着法(PVD法)の一つとして注目を集めている。)用の直流定電圧定電流電源装置です。
特長
高周波インバータ回路(20kHz)高周波トランス(アモルファスコアを使用)を使った高速応答、低リップル、超小型化を実現した直流電源です。簡単に説明しますとスイッチング電源の超大型タイプと言えます。(ただ、出力電圧は可変出来るタイプです。)
回路ブロック図
構成と原理
本システムは、高周波インバータ回路によって高周波を作り、高周波トランスを通すことによって、小型、高機能を
はかった直流電源装置です。入力電源は三相220V 50Hz/60Hzで出力は主電源がMAX150V 250A、補助電源が
MAX 600V 20Aという2つの電源を下図のようにダイオードOR回路を出力で構成して、出力電圧により自動的に
切換わるようにしています。
回路構成
主回路の原理は商用交流電源をダイオードのコンバータ部で直流に変換して、この直流電圧をDCリアクトル(DCL1)と、
コンデンサ(C2)によって平滑後、IGBTの高周波インバータ回路によって、高周波の交流(主電源15KHz、補助電源13KHz、
主電源と補助電源の周波数がちがうのは出力でつき合わせた時にビート現象などの共振現象が出ないようにするためです)
に変換します。その交流を高周波トランスによって、主電源はステップダウン、補助電源はステップアップさせます。
その交流電圧を再度ダイオードによって整流して、DCリアクトルとコンデンサによって平滑しているわけです。
出力電圧の制御は、インバータ回路の変調方式にPWM(パルス幅変調方式)を採用することにより出力電圧をフィードバックさせて行っています。出力電圧の検出は、出力に付けたダミー抵抗に流れる電流を電圧に変換して検出しています。
これによって、主回路とアイソレーションするのと高耐圧でも電圧的なフィードバックをかける事ができます。